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              ARTICLE/ 技術文章
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              真空度測試儀漏電電流的處理

              更新時間:2023-08-28瀏覽:975次

              真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我公司專家在磁控放電的研究中發現:在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此,我公司基于電離電荷的采樣技術,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。

              漏電電流的處理

              對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性,并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。


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